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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-COL21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。
產(chǎn)品型號：L21SS/L21SH/L21SS-CO廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-10-09訪 問 量：201
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日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 特點介紹
L21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。
該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。
■壓力表連接接頭的尺寸和形狀為1/4"面密封接頭的雄性為標準。
·入口出口接頭的種類尺寸和形狀（雄性、雌性）的組合可從產(chǎn)品編號表中顯示的組合中進行選擇。
■UJR®、VCR®、CVC®以外的接頭的面間尺寸可能與標準面間尺寸不同。
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力14.8MPa以下（最大24MPa）
調(diào)節(jié)壓力Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動進口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化0.0005MPa以下
承受壓力31.5MPa（入口側(cè)）、1.5MPa（調(diào)節(jié)側(cè)）
CV值0.09
工作溫度-10~+40℃
外漏1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積4.75cm（3個壓力表，不含接頭） 4.75cm（3個壓力表，不含接頭）
大量的約1.4公斤
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002
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